高純氧氣可用于二氧化硅的化學氣相沉積

　　高純氧氣用于二氧化硅的化學氣相沉積，作為氧化源和生產高純水的試劑，干氧化與四氟化碳混合用于等離子體蝕刻。應注意安全，并應做好防震，防火，耐熱和防油等工作。

　　據了解，高純氧氣可以促進燃燒。應將其保存在陰涼處。嚴禁接觸煙花和易燃材料。請勿在氧氣計的螺旋形嘴上放油。對于不同類型的氣體（例如，氮氣、氫氣、氬氣和氦氣），高純氣體具有不同的純度指標。

　　而高純氧氣通常只需要氧氣純度，而對其他衛生條件沒有特殊要求。同時，它還包含有害氣體，例如一氧化碳，甲烷，濕氣，細菌和灰塵。工業氧氣主要用于焊接和氣焊、氣割等。

　　高純氧氣是空氣的成分之一，無色，無味，無味。氧氣的密度大于空氣的密度，在標準條件下（0°C和大氣壓101325 Pa），密度為1.429 g/l。氧氣的大規模生產方法是分餾液態空氣。首先，空氣被壓縮，并且在膨脹和膨脹之后被凍結為液態空氣。由于稀有氣體和氮氣的沸點低于氧氣，因此，分餾后，剩下的就是液態氧，可存放在高壓鋼瓶中。

　　工業高純氧氣是用于工業生產和產品加工的氣體。低質量要求通常要求純度達到99％或更高。填充程序不如醫用氧氣嚴格。水和其他雜質經常混入并保留在氧氣瓶的氧氣瓶中。混入并殘留在鋼瓶中的水將導致氧氣瓶的內壁生銹，這將導致瓶中的氣體產生異味。