乙硅烷是一種無機化合物，其化學式為Si2H6，在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學性質，但其反應性比硅烷更強。它比硅烷更不穩(wěn)定，在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300～500℃分解成為SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。主要用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。